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基于丰富的产品，针对不同行业特性，深入场景，给予智能制造综合解决方案，助力企业智能化改造和数字化转型。 -
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集团成员
众为兴
晓奥
会通
辛格林纳（德国）
辛格林纳（马来西亚）
EN
产品描述
4轴真空直驱双臂Q型晶圆搬运机器人
AHYQ3510F_AHY系列半导体机器人
- ● 高可靠真空隔离，从容应对高真空环境
- ● 电机直接驱动机器人运动，提升运行可靠性
- ● 高强度高刚性钢带传动，实现手臂高传动精度
- ● 采用闭环伺服控制，实现高精度位置控制
- ● 同时实现双工位交换晶圆动作（Swap）
臂长
355.5mm
额定/最大负载
≤1kg
搬运物
≤Φ300mm晶圆
关键词：
QY球友会(中国)众为兴AHYQ7010F_4轴真空直驱双臂Q型晶圆搬运机器人
规格参数
联系我们
智慧电梯：400-820-7921
变频驱动：400-821-0325
运动控制：400-821-0325
多关节机器人：400-920-0275
SCARA机器人：400-168-2718
邮箱：market@fw5151.com
地址：上海市嘉定区思义路1560号，201802
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