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    VA5204_3轴真空圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人

    TBA4030F-07-09_4轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人,自主研发安全可控,可全面替代进口品牌。

    产品描述


    3轴真空圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人
    VA5204_VA系列半导体机器人
     
    • ● 可根据设备布局定制臂长及Z轴行程
    • ● 采用闭环伺服控制
    • ● 末端执行器类型:下托式
    • ● 可选配免电池绝对式编码器

    •  

    臂长

    520mm

      额定/最大负载

     2kg

    搬运物

    ≤Φ300mm晶圆

    QY球友会(中国)众为兴VA5204_3轴真空圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人

    关键词:

    QY球友会(中国)众为兴VA5204_3轴真空圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人

    规格参数

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