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辛格林纳(德国)
辛格林纳(马来西亚)

产品描述
3轴大气圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人
TA4030F-01-03_TA系列半导体机器人
- ● 采用闭环伺服控制
- ● 可选配免电池绝对式编码器
- ● 可根据设备布局定制底座和伸展轴行程
- ● 末端执⾏器类型:下托式
臂长
200/260/320/400mm
额定/最大负载
3kg
搬运物
≤Φ300mm晶圆

关键词:
QY球友会(中国)众为兴TA4030F-01-03_3轴大气圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人
规格参数
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