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    TBA4894D_5轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人

    TBA4894D_5轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人，自主研发安全可控，可全面替代进口品牌。

    产品描述

    5轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人
    TBA4894D_TBA系列半导体机器人
     
    • ● 采用闭环伺服控制
    • ● 可根据设备布局定制臂长及Z轴行程
    • ● 可选配免电池绝对式编码器
    • ● 可选mapping传感器类型：对射式、反射式
    • ●可选末端执行器类型：真空吸附式、夹持式、翻转吸附式

    臂长

    200/260/320/400mm

      额定/最大负载

     3kg

    搬运物

    ≤Φ300mm晶圆

    QY球友会(中国)众为兴TBA4030F-07-09_4轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人

    关键词：

    QY球友会(中国)众为兴TBA4030F-07-09_4轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人

    规格参数

    QY球友会(中国)众为兴TBA4030F-07-09_4轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人

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