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SA25_4轴大气5片晶圆搬运机器人

SA25_4轴大气5片晶圆搬运机器人
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SA25_4轴大气5片晶圆搬运机器人

SA25_4轴大气5片晶圆搬运机器人,自主研发安全可控,可全面替代进口品牌。

产品描述


4轴大气5片晶圆搬运机器人
SA25_SA系列半导体机器人
 
  • ● 采用闭环伺服控制
  • ● 可选配免电池绝对式编码器
  • ● 可根据设备布局定制底座和伸展轴行程
  • ● 末端执⾏器类型:下托式

臂长

250mm

额定/最大负载

5晶圆

搬运物

Φ100~Φ300mm晶圆

QY球友会(中国)众为兴SA25_4轴大气5片晶圆搬运机器人

关键词:

QY球友会(中国)众为兴SA25_4轴大气5片晶圆搬运机器人

规格参数

QY球友会(中国)众为兴SA25_4轴大气5片晶圆搬运机器人


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